簡(jiǎn)要描述:MicroFLOW SF6?.100?Vol.-%氣體傳感器:六氟化硫在許多應(yīng)用中仍是必須的,作為一種示蹤、保護(hù)或絕緣氣體。由于SF6的高溫室效應(yīng),對(duì)氣體的負(fù)責(zé)任處理變得更加重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-%傳感器適用于需要精確和可靠的廣泛應(yīng)用領(lǐng)域。
詳細(xì)介紹
品牌 | Micro-Hybrid | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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描述
六氟化硫在許多應(yīng)用中仍是必須的,作為一種示蹤、保護(hù)或絕緣氣體。由于SF6的高溫室效應(yīng),對(duì)氣體的負(fù)責(zé)任處理變得更加重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-%傳感器適用于需要精確和可靠的廣泛應(yīng)用領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域
工業(yè):SF6用于等離子蝕刻工藝,在半導(dǎo)體材料如硅、二氧化硅和其他化合物上創(chuàng)建精確圖案。該氣體被用在特殊的蝕刻室中,通過(guò)施加高頻能量轉(zhuǎn)化為等離子體。這個(gè)等離子體然后選擇性地與材料反應(yīng),使得在一個(gè)非常受控和準(zhǔn)確的過(guò)程中精確地雕刻或移除材料。
在鋁的生產(chǎn)中,六氟化硫被用作示蹤氣體,以提高生產(chǎn)效率并盡早檢測(cè)潛在問(wèn)題。它還用于監(jiān)測(cè)最終產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性。
能源技術(shù):在電力供應(yīng)領(lǐng)域,SF6被用作高壓開關(guān)設(shè)備和變壓器中的絕緣氣體和冷卻介質(zhì)。測(cè)量六氟化硫?qū)τ谠缙谧R(shí)別泄漏以及監(jiān)測(cè)系統(tǒng)狀況非常重要。
測(cè)量精度
我們的NDIR氣體傳感器在測(cè)量和監(jiān)測(cè)六氟化硫時(shí)能夠獲得精確的結(jié)果。通過(guò)10點(diǎn)線性化,在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi),測(cè)量的氣體濃度的最大偏差小于1%。
傳感器可靠地檢測(cè)最小氣體濃度,以識(shí)別氣體混合物中的最微小變化。您可以自由選擇應(yīng)用程序的測(cè)量范圍,例如從整個(gè)0到100 vol.-%的測(cè)量范圍中的90 vol.-%。
由µP.sens壓力傳感器在樣品池塊中補(bǔ)償任何因壓力波動(dòng)或氣壓變化引起的偏差(< 0.1 % / 10 hPa),消除了潛在的泄漏或測(cè)量值的偽造。通過(guò)將壓力傳感器集成到樣品池塊中,與類似傳感器相比,模塊的整體空間需求減少了。
每個(gè)傳感器都確保了溫度補(bǔ)償。每個(gè)模塊的測(cè)試和校準(zhǔn)在氣候室中進(jìn)行,使用特定濃度的測(cè)試氣體在測(cè)量過(guò)程中記錄和調(diào)整誤差曲線。測(cè)試和校準(zhǔn)在5至45攝氏度的傳感器操作范圍內(nèi)進(jìn)行,包括零點(diǎn)和跨度點(diǎn),以及傳感器操作范圍內(nèi)的其他典型溫度。最大偏差每10K小于1%。
功能范圍
RS232和CAN-Bus數(shù)字接口是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配置。使用可選配件和MARSlight軟件為您的配置選擇一個(gè)接口。遵循軟件手冊(cè)中的說(shuō)明。
樣品池針對(duì)測(cè)量高達(dá)100%體積比的六氟化硫進(jìn)行了優(yōu)化。
與常規(guī)傳感器相比,我們的傳感器允許在300 - 1200 hPa的寬壓力范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。例如,傳感器適合更高地理位置或需要負(fù)壓測(cè)量的系統(tǒng)。
使用壽命
陽(yáng)極氧化鋁氣體連接塊確保在惡劣環(huán)境條件下的長(zhǎng)壽命和可靠性。不銹鋼氣體連接進(jìn)一步增強(qiáng)了耐用性。
在操作溫度范圍內(nèi)進(jìn)行的氣候室測(cè)試消除了組件的過(guò)早故障。
安裝和操作
免費(fèi)下載MARS light軟件用于氣體傳感器,立即開始使用您的氣體傳感器。軟件消除了創(chuàng)建自己的軟件的需要,并在初始測(cè)試測(cè)量上節(jié)省時(shí)間。傳感器消耗不到1瓦,可以使用電池供電的設(shè)備。易于集成,具有9到30伏的寬電壓范圍,使其可以連接到大多數(shù)現(xiàn)有系統(tǒng)。
根據(jù)具體需求,分析前可能需要對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)冷或加熱。為了防止樣品池中的潛在氣體凝結(jié)效應(yīng),可以監(jiān)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)中的氣體溫度。
我們的模塊化設(shè)計(jì)使清潔和維護(hù)變得簡(jiǎn)單,不同于許多同類產(chǎn)品。
有關(guān)安裝和操作的詳細(xì)信息可以在用戶手冊(cè)中找到。
我們的數(shù)據(jù)表簡(jiǎn)要列出了最重要的技術(shù)細(xì)節(jié)。我們將很高興就您個(gè)別的問(wèn)題和要求提供咨詢。
應(yīng)用
l在高功率應(yīng)用中的泄漏監(jiān)測(cè)
l絕緣氣體的監(jiān)測(cè)
l絕緣氣體的質(zhì)量保證
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
l壓力值和氣壓變化的最小偏差(< 0.1% / 10 hPa)
l工業(yè)上常用的接口可用
l由于高質(zhì)量材料而維護(hù)成本低
l可用于電池供電設(shè)備
l可以監(jiān)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)中的氣體溫度
l維護(hù)和清潔輕松完成
特點(diǎn)
l10點(diǎn)線性化
l通過(guò)集成壓力傳感器進(jìn)行壓力補(bǔ)償
l溫度補(bǔ)償
l數(shù)字接口RS232/CAN-Bus
l具有高化學(xué)抗性的堅(jiān)固設(shè)計(jì)
l可測(cè)量氣體溫度
l模塊化設(shè)計(jì)
l對(duì)CF4沒(méi)有交叉靈敏度
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) | 數(shù)據(jù) | 單位 |
一般 | ||
訂單編號(hào) | VKM2002985 |
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測(cè)量原理 | NDIR |
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樣品池長(zhǎng)度 | 2 | mm |
紅外光源的估計(jì)壽命 | 40 000 | h |
氣體流量 | 0.1 - 3 | l/min |
尺寸 | 88 x 90 x 60 | [mm] |
重量 | 160 | g |
管道連接 | 6/4 mm tube |
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電源電氣連接類型 | 2-pin, 3.5 mm |
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通信連接類型 | 3 pol. RS232 / 3 pol. CAN-Bus (2.54 mm) |
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測(cè)量 | ||
測(cè)量范圍 | 0 - 100 | Vol.-% |
測(cè)量氣體 | 六氟化硫 |
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預(yù)熱時(shí)間2 | < 10 | min |
響應(yīng)時(shí)間(t90) | < 5 | s |
檢測(cè)限(3σ)3 | < 0.05 | % FS |
數(shù)字分辨率 | 0.001 | Vol.-% |
線性度偏差 | < 0.5 | % FS |
可重復(fù)性 | < 0.25 | % FS |
長(zhǎng)期穩(wěn)定性(零) | < 0.5 | % FS/ month |
長(zhǎng)期穩(wěn)定性(跨度) | < 1 | % FS/ month |
溫度影響(零) | < 0.05 | % FS/ 10 K |
溫度影響(跨度)4 | < 0.5 | % FS/ 10 K |
位置影響 | < 0.5 | % FS/ 180 ° |
壓力影響 | < 0.15 | % FS/ 10 hPa |
發(fā)電 | ||
工作電壓 | 9 ... 30 | V DC |
最大工作電流 | 110 mA @ 9 V, 33 mA @ 30 V |
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涌流 | 220 | mA |
標(biāo)稱功耗 | 1 | W |
數(shù)字輸出信號(hào) | RS232 or CAN-Bus |
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輸出格式CAN | MARS/ CAN-Bus |
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輸出格式RS232 | ASCII |
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CAN最大數(shù)據(jù)速率 | 10 | ms |
RS232最大數(shù)據(jù)速率 | 100 | ms |
氣候條件 | ||
工作溫度 | 5 ... 45 | °C |
儲(chǔ)存溫度 | -20 ... 60 | °C |
空氣壓力 | 300 - 1 200 | hPA |
環(huán)境濕度 | 0 ... 95%相對(duì)濕度(不凝結(jié)) | hPA |
1. 零點(diǎn)氣體測(cè)量:氮?dú)?;相關(guān)條件為Pa = 1020 hPa;Ta = 25°C;流量 = 1 l/min。
2. 完整規(guī)格,取決于環(huán)境條件。
3. 在零點(diǎn)處。
4. 具有量程溫度補(bǔ)償。
5. 建議在穩(wěn)定的氣候條件下使用,請(qǐng)檢查露點(diǎn)注意事項(xiàng)。
機(jī)械制圖
俯視圖
前視圖
側(cè)視圖
產(chǎn)品概述
型號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)字輸出信號(hào) | 測(cè)量范圍 |
VKM2002977 | MicroFLOW CO2 . 5 000 ppm | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 5 000 ppm |
VKM2002978 | MicroFLOW CH4 . select 10 Vol.-% | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 10 Vol.-% |
VKM2002979 | MicroFLOW CH4 .10 Vol.-% | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 10 Vol.-% |
VKM2002980 | MicroFLOW CO . 50 Vol.-% | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 50 Vol.-% |
VKM2002981 | MicroFLOW CO2 . 50 Vol.-% | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 50 Vol.-% |
VKM2002985 | MicroFLOW SF6 .100 Vol.-% | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 100 Vol.-% |
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