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FMSS系列方臺面整體平移臺

簡要描述:FMSS系列方臺面整體平移臺:精度高和機身尺寸小兼而有之的運動控制產(chǎn)品非常難于設(shè)計。我們經(jīng)過三年研發(fā),反復(fù)測試,終于推出了該系列產(chǎn)品,并成功應(yīng)?于商業(yè)化原子力顯微鏡。FMSS系列產(chǎn)品采?進(jìn)口直線電機,集成?體式交叉滾柱導(dǎo)軌和光柵尺,速度均勻性波動在千分之?以內(nèi)。在保證精度、承載前提下,將體積壓縮至最小。

  • 產(chǎn)品品牌:其他品牌
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-05-30
  • 訪  問  量:280

產(chǎn)品分類

Product Category

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詳細(xì)介紹

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應(yīng)用領(lǐng)域綜合

FMSS系列方臺面整體平移臺

FMSS系列方臺面整體平移臺

l行程覆蓋38mm、48mm

l?形臺面設(shè)計

l集成式?體化交叉滾柱導(dǎo)軌

l靜音位移臺

l免費標(biāo)準(zhǔn)版SDK

l高性能控制器

l可選配EtherCAT總線控制

產(chǎn)品簡介

FMSS系列方臺面整體平移臺:精度高和機身尺寸小兼而有之的運動控制產(chǎn)品非常難于設(shè)計。我們經(jīng)過三年研發(fā),反復(fù)測試,終于推出了該系列產(chǎn)品,并成功應(yīng)?于商業(yè)化原子力顯微鏡。FMSS系列產(chǎn)品采?進(jìn)口直線電機,集成?體式交叉滾柱導(dǎo)軌和光柵尺,速度均勻性波動在千分之?以內(nèi)。在保證精度、承載前提下,將體積壓縮至最小。

產(chǎn)品應(yīng)用

l激光打靶

l晶圓打磨

l激光工業(yè)

l醫(yī)美醫(yī)療

l高級儀器設(shè)備

l原?力顯微鏡

性能實測

FMSS系列方臺面整體平移臺

FMSS系列方臺面整體平移臺

接線定義

電機接?

FMSS系列方臺面整體平移臺

反饋接?

FMSS系列方臺面整體平移臺

產(chǎn)品圖紙

FMSS90C-38

FMSS系列方臺面整體平移臺

FMSS125C-48

FMSS系列方臺面整體平移臺

產(chǎn)品參數(shù)

Model

FMSS90C-38

FMSS125C-48

行程(mm)

38

48

負(fù)載(Kg)

4

10

分辨率(μm)

0.1

0.1

最?步進(jìn)量(μm)

0.3

0.3

單向重復(fù)定位精度/保證值(μm)

±0.3

±0.5

單向重復(fù)定位精度/典型值(μm)

±0.2

±0.3

雙向重復(fù)定位精度/保證值(μm)

±0.6

±1

雙向重復(fù)定位精度/典型值(μm)

±0.3

±0.5

定位精度/保證值(μm)

±2

±2

定位精度/典型值(μm)

±0.5

±0.5

最?速度(mm/s)

100

100

直線度(μm)

5

5

平整度(μm)

5

5

偏擺(arcsec)

10

10

俯仰(arcsec)

10

10

持續(xù)推力(N)

6

17.6

峰值推力(N)

24

88

重量(kg)

1.1

2.1



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