簡要描述:FMSS系列方臺面整體平移臺:精度高和機身尺寸小兼而有之的運動控制產(chǎn)品非常難于設(shè)計。我們經(jīng)過三年研發(fā),反復(fù)測試,終于推出了該系列產(chǎn)品,并成功應(yīng)?于商業(yè)化原子力顯微鏡。FMSS系列產(chǎn)品采?進(jìn)口直線電機,集成?體式交叉滾柱導(dǎo)軌和光柵尺,速度均勻性波動在千分之?以內(nèi)。在保證精度、承載前提下,將體積壓縮至最小。
詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
FMSS系列方臺面整體平移臺
l行程覆蓋38mm、48mm
l?形臺面設(shè)計
l集成式?體化交叉滾柱導(dǎo)軌
l靜音位移臺
l免費標(biāo)準(zhǔn)版SDK
l高性能控制器
l可選配EtherCAT總線控制
產(chǎn)品簡介
FMSS系列方臺面整體平移臺:精度高和機身尺寸小兼而有之的運動控制產(chǎn)品非常難于設(shè)計。我們經(jīng)過三年研發(fā),反復(fù)測試,終于推出了該系列產(chǎn)品,并成功應(yīng)?于商業(yè)化原子力顯微鏡。FMSS系列產(chǎn)品采?進(jìn)口直線電機,集成?體式交叉滾柱導(dǎo)軌和光柵尺,速度均勻性波動在千分之?以內(nèi)。在保證精度、承載前提下,將體積壓縮至最小。
產(chǎn)品應(yīng)用
l激光打靶
l晶圓打磨
l激光工業(yè)
l醫(yī)美醫(yī)療
l高級儀器設(shè)備
l原?力顯微鏡
性能實測
接線定義
電機接?
反饋接?
產(chǎn)品圖紙
FMSS90C-38
FMSS125C-48
產(chǎn)品參數(shù)
Model | FMSS90C-38 | FMSS125C-48 |
行程(mm) | 38 | 48 |
負(fù)載(Kg) | 4 | 10 |
分辨率(μm) | 0.1 | 0.1 |
最?步進(jìn)量(μm) | 0.3 | 0.3 |
單向重復(fù)定位精度/保證值(μm) | ±0.3 | ±0.5 |
單向重復(fù)定位精度/典型值(μm) | ±0.2 | ±0.3 |
雙向重復(fù)定位精度/保證值(μm) | ±0.6 | ±1 |
雙向重復(fù)定位精度/典型值(μm) | ±0.3 | ±0.5 |
定位精度/保證值(μm) | ±2 | ±2 |
定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 |
最?速度(mm/s) | 100 | 100 |
直線度(μm) | 5 | 5 |
平整度(μm) | 5 | 5 |
偏擺(arcsec) | 10 | 10 |
俯仰(arcsec) | 10 | 10 |
持續(xù)推力(N) | 6 | 17.6 |
峰值推力(N) | 24 | 88 |
重量(kg) | 1.1 | 2.1 |
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